（1）潔凈室內要適時地進行清潔，采取防塵措施，如保持密封性能，保持工作人員清潔，穿戴清潔隔離服、鞋帽、手套、口罩，減少室內人數，減小活動范圍等。每晨各手術間用0.5%含氯消毒液擦拭物品表面及地面。每周清潔一次，包括墻面、天花板、地面。手術室無影燈上的玻璃蓋片應每月擦洗一次。

（2）準備的潔凈室清掃材料和工具。別的區域先打掃。所有暴露在外的設備、桌子、工具和椅子等的表面用濕的潔凈室擦布擦干凈。帶玻璃的壁板和門用液體清洗劑清洗，然后用擦布擦掉余下的水。墻和天花板用非常稀的中性清洗劑擦洗，然后沖洗，用海綿擦掉余下的水。地板應用浸過清潔劑的拖把拖洗，再用沒浸過清潔劑的拖把拖幾分鐘，然后用海綿拖把或能吸水的真空吸塵器吸掉余下的水。以上所有的清潔過程完成后，用真空吸塵器清掃整個潔凈室。

（3）潔凈室的日常管理立即除掉所有可見的塵粒或污染物每個班結束后清潔粘墊，一次性粘墊一日更換撕掉。

       凡是房建類設計規劃，無論是哪類用房裝修，都是在確保一系列基本配置的基礎上進行規劃及設計。半導體行業潔凈車間也不例外，涉及此類范疇的，也并非只是單純地對生產車間空間面積、墻頂地的涂裝和管道鋪設工程進行設計。那么半導體行業潔凈室是如何規劃設計的呢？

       一、信息的對接工作

       1、對接建筑基礎資料信息

包括了解廠房各樓層尺寸面積、層高、有無承重柱、出入口位置等信息，同時還需要了解廠房現有潔凈等級。

       2、對接生產線及生產工藝信息

       了解生產設備、作業工作臺、生產流水線的尺寸大小及擺放位置；生產原料、半成品及成品的擺放位置與占地面積需要；明確人貨通道、工作面積、車間內所需操作人員數量等需求。

       3、明確企業后期生產規劃信息及預算費用信息

      提前了解企業研發生產的規劃，便于提前做好準備，預留合適的后期升級改造空間；明確企業裝修設計預算，在合理范圍內進行設計規劃。

       二、設計規劃工作

       一般來說，半導體潔凈室對潔凈等級要求都較高，施工難度也隨之增加。需要依據室內溫濕度、產線所需潔凈度、壓差排風、照度風量等數據進行合理設計。如靜電對半導體行業產品影響較大，會降低良品率，而干燥的環境容易產生靜電，因此半導體行業的潔凈室內需要對溫濕度合理控制，通常將溫度設置在22℃左右，相對濕度控制在50%-60%這樣的范圍內，能有效防止靜電產生，同時提升工作人員適宜度。

萬級無塵車間的特點

       潔凈度等級要求高，風量、溫度、濕度、壓差、設備排氣控制、照、照度、無塵車間截面風速按設計或規范控制，此外，無塵車間對靜電要求極為嚴格。對濕度的要求特別高。因為太干燥的工廠很容易產生靜電，導致CMOS集成損壞。電子制造業廠萬級無塵車間潔凈度等級要求高，風量、溫度、濕度、壓差、設備排氣控制、照、照度、無塵車間截面風速按設計或規范控制，此外，無塵車間對靜電要求極為嚴格。對濕度的要求特別高。因為太干燥的工廠很容易產生靜電，導致CMOS集成損壞。一般來說，電子廠房的溫度應控制在222℃大約，相對濕度控制在50%-60%之間(特殊清潔車間有相關的溫濕度規定)。這時可以有效消除靜電，讓人感覺舒服。

       電子無塵車間清潔要求:

       (1)清潔室內墻體時，應使用潔凈工程潔凈室無塵布。

       (2)用90%去離子水和10%配置清潔劑。

       (3)使用經批準的凈化工程潔凈室去污劑。

       (4)每天檢查無塵車間和設備間的垃圾箱，并及時清除。

       (5)每一塊地板都要吸塵。并在其中。“無塵車間清潔記錄”表上標明工作完成情況。例如，在哪里結束，從哪里開始。

       (6)清潔無塵凈化工程潔凈室地面時，應先關閉凈化系統，并使用無塵室拖把。

       (7)潔凈室吸塵應使用帶過濾器的真空吸塵器。

       (8)所有無塵室的門窗都需要清潔、保養。

       (9)潔凈室每天需要吸塵、拖地；墻面、門窗每周擦一次。

       (10)無塵車間架空地板下也要吸塵擦拭。

       (11)電子無塵車間每三個月擦拭一次架空地板下的柱子和支撐柱。

       (12)在潔凈室工作時，一定要記住，總是從上到下擦，從離門遠的方向擦門。